中微尹志尧：已有800个反应台进入国际最先进生产线！
近日，被誉为“中国刻蚀机之父”的中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧，做客央视财经《对话》栏目，以《“刻”出来的长期主义》为题，畅谈归国创业、打破国际垄断、拓展泛半导体领域的奋斗历程，分享对产业竞争与发展蓝图的深度思考。
3年打破国外刻蚀机垄断
随着AI带来的全球算力需求爆发，我国半导体设备行业进入发展黄金期，刻蚀机作为半导体制造中的核心设备之一，其技术水平直接决定了芯片的精度、性能和功耗。
中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧介绍：“我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，后来国际三大设备公司都按这个方向做，现在100%的CCP刻蚀机都在用这个方法。”
△中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理
60岁归国，尹志尧放弃美国百万年薪与顶尖公司的高管职位，带着数百项专利的技术积累毅然回国。22年后，中微公司市值突破2000亿元，设备进入台积电5纳米、3纳米先进制程供应链，他本人也恢复了中国国籍。
尹志尧的创业之路，几乎是从一张“白纸”起步：“回国是非常敏感的一件事情，我们让所有回国的人签字画押，不许带任何文件，计算机也是新的，完全从零开始。”
但这份“从一张白纸开始”的底气，来自他深耕行业数十年的技术沉淀：“在美国做了20年，我发明的东西都是自己想出来的，过去能想出来，现在就能想出更好的，我们绝不重复国外的技术，一定要有创新。”技术创新、产品差异化、知识产权保护，成为中微创业初期坚守的三大核心原则。
从零起步的自主创新，中微用三年时间打破了国外刻蚀机领域的长期垄断。尹志尧介绍：“我们首创了甚高频去耦合反应离子刻蚀技术，后来国际三大设备公司都按这个方向做，现在100%的CCP刻蚀机都在用这个方法。”此外，中微首创的双台机设计，实现了单台设备同时刻蚀两片硅片，材料节省30%以上，且成本更低、性能更稳定。
据尹志尧透露，“在中国台湾的国际最先进的生产线上，现在已经有我们800多个反应台，从45纳米到3纳米都有用我们的机器。”
国产设备需要国内客户支持
2007年，中微就推出了首台双反应台国产刻蚀设备，而这份突破的背后，离不开国产半导体产业的“双向奔赴”。
尹志尧回忆创业初期的支持：“还没决定回来的时候，我就问张汝京博士，如果我回国做设备，你支持吗？”
中芯国际创始人、兴华芯创始人张汝京表示：“我一定支持。”面对国产设备的试错风险，张汝京带头“吃螃蟹”：“试新的设备一定会有风险，这个时间成本我们来负责。”
△尹志尧与张汝京接受采访
张汝京指出，“试新的设备一定会有风险，但是我们试的时候不会贸然试很多，就是小批量的，先试 5 片、25 片，再就是 50 片、100 片，而且时间蛮长的，双方都要负责。比如我们用中微的设备，设备给我们的时候，我们并没有付钱，这是中微投资者的，但是后面测试时，芯片就是我们自己负责，时间成本是我们负责，大家配合很好以后成功了，这个投资绝对划得来。”
张汝京认为，“如果没有人使用国货，怎么会进步呢？不使用就不知道毛病在哪里，不知道毛病怎么改，也不要觉得我一试不好，不用了。”
正是这份包容与信任，让中微设备快速完成验证迭代，尹志尧透露：“到现在为止，中芯国际的设备至少800台来自中微。”
尹志尧坦言，大部分客户都愿意用国产设备，但还是先入为主认为国外设备比较好。因为，国内客户采用国产设备有一个思想的障碍，就是实际的数据证明，国外的领先设备引进后，一进生产线问题很少。可是国内的设备一进生产线，开始总有很多问题，需要花很多时间解决。这是一种先入为主的概念，认为国外的设备比较好，而国内设备有很多问题。
尹志尧以其20年在美国工作的经验分享道：“其实海外设备厂商每一台新设备进入最先进像台积电的、三星这样的客户产线时，一开始的表现也是并不完美。也是需要经过两三年，并在台积电、三星这样领先的公司帮助下，逐渐将设备调试改进得越来越好，客户也提了很多意见。然后当这个设备引入到中国时，实际上已经经过两三年的历练了，所以国内客户拿到的时候肯定是好的。国产设备一开始进入国内生产线，也同样会存在问题，并不是说国内设备真的就做得不好，是因为环境不一样。所以希望国内客户能给国产设备企业更多机会。"
张汝京也表示：“如果没有人使用，设备永远不会进步。”
发力泛半导体领域，18个月攻克超大平板设备
从刻蚀设备到薄膜设备，再到泛半导体领域，中微的长期主义也在持续拓展新边界。
尹志尧解释称，我们做出了很好的刻蚀机，但是拿到客户生产线上，会碰到上百种不同的薄膜，有的能刻，有的不能刻，那就会出问题。所以，像泛林集团、TEL等设备厂商都是刻蚀机起家的，但是他们也一定要去做薄膜设备。因为把薄膜设备也拿下了以后，那么自己沉积的薄膜自己也就能刻蚀了。
在这两个大类的设备做好以后，中微也开始向泛半导体领域扩展。在尹志尧看来，中微公司要保持稳定高速的增长，就不能把鸡蛋放在一个领域的篮子里。而泛半导体领域就是中微的另一个领域的“篮子”，它们都是集成电路设备衍生出来的，包括大平板设备、太阳能电池薄膜设备、宽禁带半导体设备发光二极管设备、特殊器件设备、功率半导体设备和先进封装设备。“我们做泛半导体设备，就是要把我们的核心竞争力延伸到国计民生的一些具有刚性需求的新的领域。”
尹志尧举例说道，2023年12月，中微决定进军大平板显示设备领域——这一领域17种核心工艺设备全部依赖进口，而全球70%的OLED生产线都建在中国，自主可控迫在眉睫。尹志尧坦言：“按行业经验，开发一台150吨重、两层半楼高的超大平板设备，至少需要3到5年，甚至可能7年。但中微团队用12个月就把设备做好并实现运转，18个月便运抵生产线，两年内实现核准投产。我们现在有能力做最先进的设备。”
从技术回流到身份回归，82岁的尹志尧用了22年时间，将一家初创公司打造成市值超2000亿元的行业标杆。面对行业沉浮，他始终坚信，半导体设备是产业的“底座”，需要长期投入与开放竞争。
编辑：芯智讯-浪客剑 来源：央视财经
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